n - 國立中央大學
thesis.lib.ncu.edu.tw/ETD-db/ETD-search/getfile?URN=91222022...
而小尺寸的晶粒產生的高密度晶界,以及高密度晶界與晶界原子無
序結構使材料性質發生改變, 而當粒徑小到一定程度,物理及化學
性質會有明顯改變,如:小尺寸效應、量子尺寸效應、表面效應、量
子穿遂效應及量子限域效應等現象,而這些現象進而影響如:力學性
能、磁性、介電性、超導性、光學等特性。
本實驗所做的金屬奈米微粒,採用熱蒸鍍法來製作,藉由控制
熱蒸鍍機速率及腔內惰性氣體的壓力,進而得到所需粒徑的奈米微
粒。
以熱蒸鍍法來製作奈米微粒的基本運作原理是在惰性氣體環境
裡把金屬加熱蒸發,金屬原子蒸發後與惰性氣體相互碰撞而減低動
能,上升至低溫收集盤而附著在低溫(77K)收集盤上進一步帶走原子
之動能,減低顆粒在收集盤上相互凝結而形成較大顆粒或薄膜。在製
作金屬奈米微粒時常採用的惰性氣體有He 及Ar。
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