Saturday, March 1, 2014

半导体单晶材料中的电子状态及其运动规律 “结构决定性质” 导带:0K条件下未被电子填充的能量的能带 导带:0K条件下未被电子填充的能量的能带

半导体物理第一章PPT 刘恩科 国防工业出版社(含答案)(教材)

半导体物理第一章PPT  刘恩科 国防工业出版社(含答案)(教材)
本章重点 半导体单晶材料中的电子状态及其运动规律 领会“结构决定性质” 处理方法 单电子近似——能带论

单电子近似

? 假设每个电子是在周期性排列且固定不 动的原子核势场及其它电子的平均势场 中运动。该势场具有与晶格同周期的周 期性势场。

预备知识 晶体(crystal) ? 由周期排列的原子构成的物体 重要的半导体晶体 ? 单质:硅、锗 ? 化合物:砷化镓、碳化硅、氮化镓

什么是半导体? 固体材料分成:超导体、导体、半导体、绝缘体

?

纯度
? 极高,杂质<1013cm-3

?

结构

?

单胞
? 对于任何给定的晶体,可以用来形成其晶体结构的

最小单元

注:(a)单胞无需是唯一的
( b)单胞无需是基本的

?

三维立方单胞
?

简立方、

体心立方、

面立方

金刚石晶体结构
原子结合形式:共价键 形成的晶体结构: 构成一个正四 面体,具有 金 刚 石 晶 体 结 构

金刚石结构

金刚石晶体结构

半 导 体 有: 元 素 半 导 体 如Si、Ge

闪锌矿晶体结构
金刚石型 闪锌矿型

半 导 体 有: 化 合 物 半 导 体 如GaAs、InP、ZnS

1.2.1原子的能级和晶体的能带

孤立原子与晶体的区别 ? 单势场中的运动;周期性势场中的公有化运 动 ? 孤立能级;准连续能带

?

电子壳层

? ?

不同支壳层电子
? 1s;2s,2p;3s,2p,3d;…

共有化运动

?

电子的能级是量子化的

n=3 四个电子

n=2 8个电子 +14

H

n=1 2个电子 Si

原子的能级的分裂
? 孤立原子的能级 4个原子能级的分裂

原子的能级的分裂
? 原子能级分裂为能带

半导体的能带结构
导带 Eg

价带

价带:0K条件下被电子填充的能量的能带

导带:0K条件下未被电子填充的能量的能带
带隙:导带底与价带顶之间的能量差

自由电子的运动
? 微观粒子具有波粒二象性

p ? m0u

p E? 2m0
i ( K ?r ??t )

2

p ? ?K E ? hv ? ??

?(r, t ) ? Ae

1.3 半导体中电子的运动 有效质量
? 薛定谔方程及其解的形式

V ( x) ? V ( x ? sa) ? d ? ( x) ? ? V ( x)? ( x) ? E ? ( x) 2 2m0 dx ikx ? k ( x ) ? uk ( x ) e
2 2

uk ( x) ? uk ( x ? na)

布洛赫波函数

固体材料分成:超导体、导体、半导体、绝缘体

? 本征激发

半导体中E(K)与K的关系
? 在导带底部,波数 k ? 0 ,附近 k值很小,将 E ( k ) 在 k ? 0 附近泰勒展开

dE 1 d E 2 E (k ) ? E (0) ? ( ) k ?0 k ? ( 2 ) k ?0 k ? .... dk 2 dk 1 d E 2 E (k ) ? E (0) ? ( 2 ) k ?0 k 2 dk
2

2

半导体中E(K)与K的关系
1 d 2E 2 E (k ) ? E (0) ? ( 2 ) k ?0 k 2 dk
1 d 2E 1 令 ? 2 ( dk 2 )k ?0 ? m * 代入上式得 n

? k E (k ) ? E (0) ? * 2mn

2 2

自由电子的能量
? 微观粒子具有波粒二象性

p ? m0u

p E? 2m0
i ( K ?r ??t )

2

p ? ?K E ? hv ? ??
?k E? 2m0
2 2

?(r, t ) ? Ae

半导体中电子的平均速度
? 在周期性势场内,电子的平均速度u可表示 为波包的群速度

dv u? dk
h 2k 2 E (k ) ? E (0) ? 2mn*

E ? hv

1 dE u? ? dk

?k u? * mn

自由电子的速度
? 微观粒子具有波粒二象性

p ? m0u

p E? 2m0
i ( K ?r ??t )

2

p ? ?K E ? hv ? ??
?k u? m0

?(r, t ) ? Ae

半导体中电子的加速度
? 半导体中电子在一强度为 E的外加电场作用 下,外力对电子做功为电子能量的变化
u?

dE ? fds ? fudt

1 dE ? dk

dk f ?? dt 2 2 du 1 d dE 1 d E dk f d E a? ? ( )? ? 2 2 dt ? dt dk ? dk dt ? dk 2

f dE dE ? dt ? dk

半导体中电子的加速度
? mn ? 2 d E 2 dk
* 2



1 1 d E ? 2 即 * 2 mn ? dk

2

f a? * mn

有效质量的意义
? 自由电子只受外力作用;半导体中的电子 不仅受到外力的作用,同时还受半导体内 部势场的作用
? 意义:有效质量概括了半导体内部势场的 作用,使得研究半导体中电子的运动规律 时更为简便(有效质量可由试验测定)

1.4 本征半导体的导电机构
? 只有非满带电子才可导电

空穴

? 导带电子和价带空穴具有导电特性;电子 带负电-q(导带底),空穴带正电+q(价带 顶)

导电机理:电子填充能带的情况 室温情况 绝对零度情况
?

?

空穴的特点
? 带正电荷+q

计算方法
? 电流密度:J=价带(k状态空出)电子总电流 ? 若以电子电荷-q填充空的k状态,则总电流为0 J + (-q)v(k) = 0 J = (+q)v(k)

? 空穴具有正的有效质量

在电场作用下,电子与空穴有相同的运动速率

dk ? ?q E / h dt
价带顶部附近电子的加速度

qE dv(k ) f a? ? * ?? * dt mn mn

若令

则空穴的加速度可表示为

m ? ?m
* p

* n

dv (k ) q E a? ? * dt mp

?

引入空穴的意义
? 把价带中大量电子对电流的贡献用少量的空穴表

达出来。 ? 半导体中有电子和空穴两种载流子,而金属中只 有电子一种载流子。

晶体各向异性,不同方向晶体性质不同, E(k)~k关系不同。 1.5.1 k空间等能面 若设一维情况下能带极值在k=0处,导带底附 近 h2k 2
?

E (k ) ? E (0) ?

? 价带顶附近

* 2mn

h2k 2 E (k ) ? E (0) ? ? 2m * p

? 对于实际三维晶体

k ?k ?k ?k
2 2 x 2 y

2 z

周期性

2π? ? E?k ? ? E? k ? n ? a ? ?

考虑到晶体各向异性的性质,用泰勒 级数在极值k0 附近展开。略去高次项, 得
?
2 (k x ? k 0 x ) 2 (k y ? k 0 y ) (k z ? k 0 z ) 2 h E (k ) ? E (k.0 ) ? [ ? ? )] * * * 2 mx my mz 2

1 1 ?2E ? 2 ( 2 ) k0 * m x h ?k x 1 1 ?2E ? 2 ( 2 ) k0 * m y h ?k y 1 1 ?2E ? 2 ( 2 ) k0 * m z h ?k z

?

上式可改写为
(k y ? k 0 y ) 2 (k x ? k 0 x ) 2 (k z ? k 0 z ) 2 ? ? ?1 * * * 2 m x ( E ? E c ) 2 m y ( E ? E c ) 2m z ( E ? E c ) h2 h2 h2

?

K空间等能面是环绕k0的一系列椭球面。

K空间球形等能面平面示意图 K空间椭球等能面平面示意图

?

将一块半导体样品至于均匀恒定的磁场中, 设磁感应强度为B,如半导体中电子初速度为 v,v与B间夹角为θ,则电子受到的磁场力f为

? ? ? f ? 力的大小为 ? ?qv ? B

v?

?

?

v
B

f ? qvBsin? ? qv? B

?

在垂直于磁场的平面内作匀速圆周运动,速 度 v? ? v sin ?

沿磁场方向做匀速运动,速度 v|| ? v cos? ? 运动轨迹为一螺旋线。若回旋频率为ωc,则
?

v? ? r? c
a ? v? / r
2

?

若等能面为球面,根据 a ? f,可得 * mn

qB ?c ? * mn

测出共振吸收时电磁波频率和测感应强度, 即可以求出有效质量。 ? 若等能面为椭球面,则有效质量为各向异性 的,沿 k , k , k 轴方向分别为 m* , m* , m* x y z x y z
? ?

设B沿

kx , k y , kz

的方向余弦分别是

? , ? ,?

?

可求得
m*? 2 ? m* ? 2 ? m*? 2 x y z m* m* m* x y z

1 ? * mn

试验一般在低温下进行,交变电磁场的频率 频率很高(微波、红外光范围) ? 试验时,通常固定交变电磁场频率,改变磁 感应强度以观测吸收现象。
?

?

导带结构

?

价带结构

?

硅和锗的禁带宽度随温度变化
Eg(T) = Eg(0) –αT2/(T+β) 硅:α = 4.73×10-4eV/K; β=636K 锗:α = 4.774×10-4eV/K; β=235K

?

砷化镓的能带结构

Eg ? Ec min ? Ev max
mn
*

* m* ? ?mn p

?2 ? d 2E dk 2

第一章习题
1.设晶格常数为a的一维晶格,导带极小值附近能量Ec(k)和价带极大 值附近能量EV(k)分别为:

h 2 k 2 h 2 (k ? k1 ) 2 h 2 k 21 3h 2 k 2 Ec ? ? , EV (k ) ? ? 3m0 m0 6m0 m0

m0 为电子惯性质量, k1 ? ? , a ? 0.314 nm。试求:
a

(1)禁带宽度; (2)导带底电子有效质量; (3)价带顶电子有效质量; (4)价带顶电子跃迁到导带底时准动量的变化

解:(1)
导带: d Ec 2? 2 k 2? 2 ( k ? k1 ) 由 ? ? ? 0 dk 3m0 m0 3 k1 4 d 2 Ec 2? 2 2? 2 8? 2 又因为: 2 ? ? ? ?0 dk 3m0 m0 3m0 得:k ? 所以:在 ? k 价带: d EV 6? 2 k ? ? ? 0得k ? 0 dk m0 d 2 EV 6? 2 又因为 ? ? ? 0, 所以k ? 0处,EV 取极大值 dk2 m0 因此:E g ? EC (
2 3 ? 2 k1 k1 ) ? EV (0) ? ? 0.6 4eV 4 1 2m0

3 k处,Ec取极小值 4

( 2) m

* nC

?2 ? 2 d EC dk 2

3 ? m0 8
3 k ? k1 4

(3)m

* nV

?2 ? 2 d EV dk 2

??
k ? 01

m0 6

(4)准动量的定义: ? ?k p 所以:?p ? (?k )
3 k ? k1 4

3 ? (?k ) k ?0 ? ? k1 ? 0 ? 7.95 ? 10? 25 N / s 4

?2 7 1 E(k ) ? ( ? cos ka ? cos 2ka) 一维晶体的电子能带可写为 8 m a2 8


式中a为 晶格常数,试求 (1)布里渊区边界; (2)能带宽度; (3)电子在波矢k状态时的速度; * mn (4)能带底部电子的有效质量
; (

5)能带顶部空穴的有效质量

m* p

解:(1)由

dE ( k ) ?0 dk




k?

n? a
MAX

(n=0,?1,?2…) ? k ? ( 2n ? 1) 进一步分析

k ? 2n

?
a

a

E(k)有极大值,E(k )

时,E(k)有极小值

所以布里渊区边界为

? k ? (2n ? 1) a
2? 2 ? m a2

2? 2 ? m a2

(2)能带宽度为

E(k ) MAX ? E (k ) MIN

(3)电子在波矢k状态的速度
v? 1 dE ? 1 ? (sin ka ? sin 2ka) ? dk m a 4

(4)电子的有效质量
?2 m * mn ? 2 ? 1 d E (coska ? cos 2ka) 2 dk 2

能带底部

2 n? k ? a
k ?

所以

m ? 2m
* n

(5)能带顶部


( 2n ? 1)? a




m ? ?m
* p

* n

所以能带顶部空穴的有效质量
m* ? p 2m 3

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