pku 等离子体中的存在着电子、阳离子和中性粒子，由于电子质量小，热运动比较剧烈，在不平衡的状态下，其热运动可以比阳离子和中性粒子剧烈很多，体现为电子温度远高于阳离子和中性粒子的温度。在低温等离子体中，电子温度通常为几个eV（1eV约等于12000K）,而离子和中性粒子的温度（即通常所说的气体温度）依然在室温附近。低温等离子体是一种非平衡态，要获得低温等离子体就要减少碰撞，因此常常在较低的压力下获得；在较高的压力下，需要比较大的气体流速

等离子体中的存在着电子、阳离子和中性粒子，由于电子质量小，热运动比较剧烈，在不平衡的状态下，其热运动可以比阳离子和中性粒子剧烈很多，体现为电子温度远高于阳离子和中性粒子的温度。在低温等离子体中，电子温度通常为几个eV（1eV约等于12000K）,而离子和中性粒子的温度（即通常所说的气体温度）依然在室温附近。低温等离子体是一种非平衡态，要获得低温等离子体就要减少碰撞，因此常常在较低的压力下获得；在较高的压力下，需要比较大的气体流速

http://www.chem.pku.edu.cn/lixg/research/moreplasma.htm