由于大多数表面控制型气敏材料吸附位与吸附分子之间的结合能大于室温下的热能,因此传统ZnO材料需要在高温的情况下(300-500益)才能得到较好的灵敏度和响应特性,但在室温条件下的气体灵敏度基本接近0

而一些对单根ZnO纳米线的初步研究表明,由于比表面积的增加和表面输运效应,随着纳米线直径的减小,其对NO2、O2等气体的灵敏度急剧增加[19,20].另外,由于大多数表面控制型气敏材料吸附位与吸附分子之间的结合能大于室温下的热能,因此传统ZnO材料需要在高温的情况下(300-500益)才能得到较好的灵敏度和响应特性,但在室温条件下的气体灵敏度基本接近0,这给器件在恶劣条件下的应用带来了不便.相较于传统薄膜与体材料,单根ZnO纳米线在室温条件下就能达到很好的气敏特性[21],但对于单根ZnO纳米线的气敏过程以及其改性机理的研究还需要进一步的深入.本文介绍一种利用光刻/剥离技术制备的单根ZnO纳米线的气敏元件,测试了其对氧化性气体氧气和还原性气体乙醇的气敏特性以及时间响应特性