半導體製程實習 化學氣相沈積原理. 所謂化學氣相沈積(chemical vapor deposition, CVD) 是. 指利用熱能、電漿放電或紫. 外光照射等形式的能源，使. 氣態物質在固體

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半導體製程實習

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高等化學-半導體原理

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