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SI-F 系列
微型传感头型分光干涉式 激光位移计
光谱干涉系统的原理
[概要]
从光源(SLD)发出的宽波长光带,经传感头内部的参考反射面与对象物表面这两面的反射后,返回到光纤内部。这两个反射光是相互干涉的。各波长的干涉光强度由参考反射面与对象物的距离而决定。(如果知道各波长的干涉光强度,那么即能够求算出对象物的距离。)通过分光器对干涉光的每个波长实施分光后,使其在CCD形成图像,就能够得出波长的强度分布。分析这个强度分布,就能够算出至对象物为止的距离。[详细(概要内容的详细说明)]
“从光源(SLD)发出的宽波长光带”...
光具有波的性质,通常将一个波形的长度称之为“波长”。也就是说,光以一波而前进的距离。在SI所使用的SLD(Super Luminescent Diode)拥有810nm至830nm的波长光带。"两个反射光是相互干涉的"...
干涉,是指波的干涉。复数的波相重合,就形成了新的波形。干涉具有两个法则: (1) 只有相同的波长才会产生干涉、(2) 如果为同相,则振幅会转为极大。
(1) : 例如,810nm和820nm的光不会产生干涉。只有在双方都为810nm或双方都为820nm的光才会产生干涉。
(2) : 如下图所示,当在相同地点,波峰与波峰、波谷与波谷相重合时(称之为同相),干涉波的振幅转为极大;当波峰与波谷相重合时(称之为逆相),振幅转为极小。干涉波振幅的大小由两个波的重合时机而决定。
SI干涉波的大小由参照反射面与对象物表面所返回来的两个波相重合的时机而决定。
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